使用直線導(dǎo)軌作為線性導(dǎo)引時(shí)，由于直線導(dǎo)軌的摩擦方式為滾動(dòng)摩擦，不僅摩擦系數(shù)降低至滑動(dòng)導(dǎo)引的1/50，動(dòng)摩擦力與靜摩擦力的差距亦變得很小。因此當(dāng)床臺(tái)運(yùn)行時(shí)，不會(huì)有打滑的現(xiàn)象發(fā)生，可達(dá)到μm級(jí)的定位精度。傳統(tǒng)的滑動(dòng)導(dǎo)引，無(wú)可避免的會(huì)因油膜逆流作用造成平臺(tái)運(yùn)動(dòng)精度不良，且因運(yùn)動(dòng)時(shí)潤(rùn)滑不充份，導(dǎo)致運(yùn)行軌道接觸面的磨損，嚴(yán)重影響精度。而滾動(dòng)導(dǎo)引的磨耗非常小，故機(jī)臺(tái)能長(zhǎng)時(shí)間維持精度。由于直線導(dǎo)軌移動(dòng)時(shí)摩擦力非常小，只需較小動(dòng)力便能讓床臺(tái)運(yùn)行，尤其是在床臺(tái)的工作方式為經(jīng)常性往返運(yùn)行時(shí)，更能明顯降低機(jī)臺(tái)電力損耗量。且因其摩擦產(chǎn)生的熱較小，可適用于高速運(yùn)行。