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3軸圓柱坐標(biāo)型真空潔凈機(jī)械手臂

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SVCR3000

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-12-19 17:02:54瀏覽次數(shù)：46次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品，穩(wěn)定性好，性價比高，也可用于搬運(yùn)托盤

詳細(xì)介紹

特點

    產(chǎn)品，穩(wěn)定性好，性價比高，也可用于搬運(yùn)托盤

  • 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：160 mm，190 mm，260 mm，330 mm
  • Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長度：20 mm，40 mm
  • 可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)2kgf以下（臂長160 mm，260 mm，330 mm）
                         手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)3 kgf以下（臂長190 mm）
  • 手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
  • 真空密封：磁流體密封及波紋管
  • 提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5 µm級過濾器
  • 配備動作監(jiān)視器
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
  • S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
  • 可以選配伺服電機(jī)規(guī)格
  • 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
  • 晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
  • 可以針對被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指

應(yīng)用設(shè)備實例

PE-CVD設(shè)備；刻蝕設(shè)備；高溫PVD設(shè)備

規(guī)格
被搬運(yùn)物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
可動范圍*
（手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)）		 520 mm 330度 40 mm
搬運(yùn)速度 (平均速度)* 300 mm/sec 120度/sec 20 mm/sec
搬運(yùn)速度 (速度)* 550 mm/sec 170度/sec 30 mm/sec
精度* 82 µm 0.009度 1.25 µm
搬運(yùn)高度* 98 mm（法蘭安裝面到手指安裝面的高度）
重復(fù)性精度 ±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置
耐真空度 1.33×10-6Pa
廠務(wù) 電源：DC24V±10% 8A

*測試機(jī)型：SVCR3260-040-PM（步進(jìn)電機(jī)規(guī)格）(中具有代表性的標(biāo)準(zhǔn)品)

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