將一個(gè)溫度極低（-120℃以下）的深冷盤管放置在真空腔室內(nèi)或者油擴(kuò)散泵口，根據(jù)氣體的低溫冷凝效應(yīng)，可以迅速使真空系統(tǒng)中的水蒸氣及其它氣體凝結(jié)在深冷盤管上，由此可以快速達(dá)到降低真空腔室內(nèi)氣壓的效果，大幅度減