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3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運機(jī)械手臂

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司成立于1999年11月,總部設(shè)于上海, 在深圳,香港,東京,河內(nèi)設(shè)立有分公司。公司一直致力于引進(jìn)技術(shù)、制造設(shè)備、精密檢測儀器、關(guān)鍵生產(chǎn)材料,為中國電子制造企業(yè)服務(wù)。經(jīng)過二十多年的發(fā)展,公司通過收購合并已發(fā)展為具有自主工業(yè)軟件設(shè)計開發(fā),高精密裝置的設(shè)計及制造裝配能力的跨國企業(yè)集團(tuán)。服務(wù)于新能源汽車制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)、5G通訊制造,航空航天,智慧醫(yī)療,自動化工業(yè)控制等細(xì)分行業(yè)。如今我們正不斷努力,希望通過*高效的生產(chǎn)技術(shù)與設(shè)備,幫助您提高生產(chǎn)效率,降低能耗,保護(hù)環(huán)境。與您攜手營造綠色地球,共創(chuàng)美好未來。
x射線檢測儀
3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運機(jī)械手臂特點:超潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部
3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運機(jī)械手臂 產(chǎn)品信息

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運機(jī)械手臂特點: 


超潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運

全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性價比優(yōu)勢

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 200mm

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指


3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運機(jī)械手臂基本參數(shù)


使用環(huán)境

潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達(dá)距離

400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)

升降軸行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬運質(zhì)量

4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))




如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們

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