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擴散硅、陶瓷、電容、單晶硅壓力傳感器各有哪些區(qū)別？
壓力傳感器是最為常用的一種傳感器，其廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。
根據(jù)工作原理的不同，壓力傳感器可分為以下幾種：
單晶硅傳感器
高性能單晶硅壓力傳感器，采用電磁激勵和電磁拾振方式工作，輸出為頻率信號，抗干擾能力強，穩(wěn)定性好，不需A/D轉換，既能測量絕壓，也能測量差壓。
電容式壓力傳感器
電容式變送器有一個可變電容的傳感組件。該傳感器是一個封閉的組件過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移。傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成(4-20)mA的兩線制輸出的電信號。
擴散硅壓力傳感器
擴散硅壓力傳感器是外加壓力通過不銹鋼膜片、內(nèi)部密封的硅油傳遞到敏感芯片上，敏感芯片不直接接觸被測介質。以其靈敏度輸出高，動態(tài)響應好，測量精度高，穩(wěn)定性好，易于小型化，但易受溫度影響，對于大于1kpa的均可測量是中檔傳 感器的選擇。陶瓷是一種高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。
陶瓷壓力傳感器
陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達-40～135℃，而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度>2kV,輸出信號強，長期穩(wěn)定性好。具有優(yōu)良的線性精度、遲滯性和可靠性、性價比。原則上較高的量程也易于實 現(xiàn)。這兩種傳感器都廣泛地應用于航天、航空、航海、石油化工、動力機械、生物醫(yī)學工程、氣象、地質、地震測量等各個領域。
另外，一般的壓力變送器(區(qū)別于差壓變送器)所用的傳感器常用的有：擴散硅傳感器，陶瓷壓阻傳感器，陶瓷電容傳感器，單晶硅傳感器等。這種傳感器只能測表壓或者絕壓，它們之間也是有各自的有缺點，在不同的場合使用的傳感器也是不同的，例如一般的小量程壓力變送器則需要用到陶瓷電容傳感器，穩(wěn)定性和精度會比其他高一些;而一般的超大量程，由于受生產(chǎn)工藝所限，通常是采用陶瓷壓阻的比較多;對于擴散硅傳感器，一般充油擴散硅傳感器更適合做溫度補償?shù)燃夹g提升，并且在穩(wěn)定性和過載能力方面也是比較出眾的。
在差壓傳感器中充硅油或者惰性氣體，一般都是電容式傳感器，當然其他技術的傳感器也是要填充惰性液或者惰性氣體的，它所其到的作用是把壓力均勻的作用在感壓膜片上的。
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