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國內(nèi)外切削刀具涂層技術(shù)發(fā)展綜述
點擊次數(shù)：1412 發(fā)布時間：2009-3-5
1．引言
切削刀具表面涂層技術(shù)是近幾十年應市場需求發(fā)展起來的材料表面改性技術(shù)。采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命，使刀具獲得優(yōu)良的綜合機械性能，從而大幅度提高機械加工效率。因此，涂層技術(shù)與材料、切削加工工藝一起并稱為切削刀具制造領(lǐng)域的三大關(guān)鍵技術(shù)。為滿足現(xiàn)代機械加工對率、高精度、高可靠性的要求，世界各國制造業(yè)對涂層技術(shù)的發(fā)展及其在刀具制造中的應用日益重視。我國的刀具涂層技術(shù)經(jīng)過多年發(fā)展，目前正處于關(guān)鍵時期，即原有技術(shù)已不能滿足切削加工日益提高的要求，國內(nèi)各大工具廠的涂層設備也到了必須更新?lián)Q代的時期。因此，充分了解國內(nèi)外刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，瞄準涂層技術(shù)*水平，有計劃、按步驟地發(fā)展刀具涂層技術(shù)（尤其是PVD技術(shù)），對于提高我國切削刀具制造水平具有重要意義。
2．國外刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢
刀具涂層技術(shù)通?？煞譃榛瘜W氣相沉積（CVD）技術(shù)和物理氣相沉積（PVD）技術(shù)兩大類，分別評述如下。
2.1 國外CVD技術(shù)的發(fā)展
二十世紀六十年代以來，CVD技術(shù)被廣泛應用于硬質(zhì)合金可轉(zhuǎn)位刀具的表面處理。由于CVD工藝氣相沉積所需金屬源的制備相對容易，可實現(xiàn)TiN、TiC、TiCN、TiBN、TiB2、Al2O3等單層及多元多層復合涂層的沉積，涂層與基體結(jié)合強度較高，薄膜厚度可達7～9μm，因此到八十年代中后期，美國已有85%的硬質(zhì)合金工具采用了表面涂層處理，其中CVD涂層占到99%；到九十年代中期，CVD涂層硬質(zhì)合金刀片在涂層硬質(zhì)合金刀具中仍占80%以上。
盡管CVD涂層具有很好的耐磨性，但CVD工藝亦有其先天缺陷：一是工藝處理溫度高，易造成刀具材料抗彎強度下降；二是薄膜內(nèi)部呈拉應力狀態(tài)，易導致刀具使用時產(chǎn)生微裂紋；三是CVD工藝排放的廢氣、廢液會造成較大環(huán)境污染，與目前大力提倡的綠色制造觀念相抵觸，因此自九十年代中期以來，高溫CVD技術(shù)的發(fā)展和應用受到一定制約。
八十年代末，Krupp.Widia開發(fā)的低溫化學氣相沉積（PCVD）技術(shù)達到了實用水平，其工藝處理溫度已降至450～650℃，有效抑制了η相的產(chǎn)生，可用于螺紋刀具、銑刀、模具的TiN、TiCN、TiC等涂層，但迄今為止，PCVD工藝在刀具涂層領(lǐng)域的應用并不廣泛。九十年代中期，中溫化學氣相沉積（MT-CVD）新技術(shù)的出現(xiàn)使CVD技術(shù)發(fā)生了革命性變革。MT-CVD技術(shù)是以含C/N的有機物乙腈（CH3CN）作為主要反應氣體、與TiCL4、H2、N2在700～900℃下產(chǎn)生分解、化學反應生成TiCN的新工藝。采用MT-CVD技術(shù)可獲得致密纖維狀結(jié)晶形態(tài)的涂層，涂層厚度可達8～10μm。這種涂層結(jié)構(gòu)具有*的耐磨性、抗熱震性及韌性，并可通過高溫化學氣相沉積（HT-CVD）工藝在刀片表面沉積Al2O3、TiN等抗高溫氧化性能好、與被加工材料親和力小、自潤滑性能好的材料。MT-CVD涂層刀片適于在高速、高溫、大負荷、干式切削條件下使用，其壽命可比普通涂層刀片提高一倍左右。目前，CVD（包括MT-CVD）技術(shù)主要用于硬質(zhì)合金車削類刀具的表面涂層，涂層刀具適用于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。采用CVD技術(shù)還可實現(xiàn)α-Al2O3涂層，這是PVD技術(shù)目前難以實現(xiàn)的，因此在干式切削加工中，CVD涂層技術(shù)仍占有極為重要的地位。
2.2 國外PVD技術(shù)的發(fā)展
PVD技術(shù)出現(xiàn)于二十世紀七十年代末，由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下，因此可作為zui終處理工藝用于高速鋼類刀具的涂層。由于采用PVD工藝可大幅度提高高速鋼刀具的切削性能，所以該技術(shù)自八十年代以來得到了迅速推廣，至八十年代末，工業(yè)發(fā)達國家高速鋼復雜刀具的PVD涂層比例已超過60%。
PVD技術(shù)在高速鋼刀具領(lǐng)域的成功應用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視，人們在競相開發(fā)高性能、高可靠性涂層設備的同時，也對其應用領(lǐng)域的擴展尤其是在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中的應用進行了更加深入的研究。研究結(jié)果表明：與CVD工藝相比，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時對刀具材料的抗彎強度無影響（試驗結(jié)果見表1）；薄膜內(nèi)部應力狀態(tài)為壓應力，更適于對硬質(zhì)合金精密復雜刀具的涂層；PVD工藝對環(huán)境無不利影響，符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。隨著高速切削加工時代的到來，高速鋼刀具應用比例逐漸下降、硬質(zhì)合金刀具和陶瓷刀具應用比例上升已成必然趨勢，因此，工業(yè)發(fā)達國家自九十年代初就開始致力于硬質(zhì)合金刀具PVD涂層技術(shù)的研究，至九十年代中期取得了突破性進展，PVD涂層技術(shù)已普遍應用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。
表1 不同溫度下PVD涂層對硬質(zhì)合金材料抗彎強度的影響
硬質(zhì)合號-平均抗彎強度（MPa）-未涂層-涂層（300℃）-涂層（600℃）-涂層（700℃）
M20－2109－2266－2129－2059
M30－2285－2469－2370－1894
目前PVD技術(shù)不僅提高了薄膜與刀具基體材料的結(jié)合強度，涂層成分也由*代的TiN發(fā)展為TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx等多元復合涂層。ZX涂層（即TiN-AlN 涂層）等納米級涂層的出現(xiàn)使PVD涂層刀具的性能有了新突破。這種新涂層與基體結(jié)合強度高，涂層膜硬度接近CBN，抗氧化性能好，抗剝離性強，而且可顯著改善刀具表面粗糙度，有效控制精密刀具的刃口形狀及精度，其精密加工質(zhì)量與未涂層刀具相比毫不遜色。
經(jīng)過幾十年的研究和開發(fā)，各種刀具涂層工藝已廣泛應用于硬質(zhì)合金和高速鋼切削刀具。涂層工藝的主要發(fā)展階段及應用領(lǐng)域見表2。
表2 主要涂層工藝發(fā)展時段及應用領(lǐng)域
時間－涂層成分－涂層方法－主要應用領(lǐng)域
1968年－TiC、TiN－CVD－硬質(zhì)合金刀具、模具涂層
1973年－TiCN、TiC+Al2O3－CVD－硬質(zhì)合金刀具、模具涂層
1979年－TiN－PVD－高速鋼刀具涂層
1981年－TiC+Al2O3+TiN、Al-O-N－CVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1982年－TiCN－MT-CVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1984年－TiCN－PVD－硬質(zhì)合金、高速鋼銑刀、鉆頭類刀具涂層
1986年－Diamond、CBN－CVD、PVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1989年－TiAlN－PVD－硬質(zhì)合金銑刀類涂層（用于鋼、鑄鐵加工）
1990年－TiN、TiCN、TiC－PCVD－模具、螺紋刀具、銑刀等
1991年－TiAlN+CrC－PVD－車、銑削鈦合金
1993年－TiN+TiCN（CVD）+TiN（PVD）－CVD+PVD－硬質(zhì)合金銑削類刀具
1993年－CrN－PVD－鈦合金、銅合金加工
1994年－MoS2－PVD－高速鋼復雜刀具涂層
1995年－TiN-AlN－PVD－硬質(zhì)合金銑刀片涂層
1996年－厚膜纖維狀TiCN－MT-CVD－硬質(zhì)合金車削類刀具涂層（用于粗、半精加工）
1996年－CNx－CVD、PVD－高速鋼刀具涂層
2000年－TiAlCN－PVD－硬質(zhì)合金刀片涂層
當前世界涂層技術(shù)的發(fā)展具有以下趨勢：由于單一涂層材料難以滿足提高刀具綜合機械性能的要求，因此涂層成分將趨于多元化、復合化；為滿足不同的切削加工要求，涂層成分將更為復雜、更具針對性；在復合涂層中，各單一成分涂層的厚度將越來越薄，并逐步趨于納米化；涂層工藝溫度將越來越低，刀具涂層工藝將向更合理的方向發(fā)展，預計PVD、MT-CVD工藝將成為主流技術(shù)。
3 我國刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢
3.1 我國CVD技術(shù)的發(fā)展
我國從二十世紀七十年代初開始研究CVD涂層技術(shù)，由于該項技術(shù)性較強，國內(nèi)從事研究的單位并不多。八十年代中期，我國CVD刀具涂層技術(shù)的開發(fā)達到實用化水平，工藝技術(shù)水平與當時的水平相當，但在隨后的十多年里發(fā)展較為緩慢（與國外研究狀況類似）；九十年代末期，我國開始MT-CVD技術(shù)的研發(fā)工作，MT-CVD工藝及裝備的研究開發(fā)預計可在2001年內(nèi)基本完成，根據(jù)研究目標，工藝技術(shù)及設備將達到當前*水平；我國PCVD技術(shù)的研究始于九十年代初，PCVD工藝技術(shù)主要用于模具涂層，目前在切削刀具領(lǐng)域的應用還十分有限。總體而言，國內(nèi)CVD 技術(shù)的總體發(fā)展水平與水平差距不大，待MT-CVD技術(shù)開發(fā)成功，我國在刀具CVD涂層領(lǐng)域的整體水平將可與*水平基本保持同步。
3.2 我國PVD技術(shù)的發(fā)展
我國PVD涂層技術(shù)的研發(fā)工作始于八十年代初期，至八十年代中期研制成功中小型空心陰極離子鍍膜機，并開發(fā)了高速鋼刀具TiN涂層工藝技術(shù)。在此期間，由于對切削刀具涂層市場前景看好，國內(nèi)共有七家大型工具廠從國外引進了大型PVD涂層設備（均以高速鋼TiN涂層工藝為主）。技術(shù)及設備的引進調(diào)動了國內(nèi)PVD技術(shù)的開發(fā)熱潮，許多科研單位和各大真空設備廠紛紛展開了大型離子鍍膜機的研制工作，并于九十年代初開發(fā)出多種PVD涂層設備。但由于多數(shù)設備性能指標不高，無法保證刀具涂層質(zhì)量，同時預期的市場效益未能實現(xiàn)，因此大多數(shù)企業(yè)未對PVD刀具涂層技術(shù)作進一步深入研究，導致近十年國內(nèi)PVD刀具涂層技術(shù)的發(fā)展徘徊不前。盡管九十年代末國內(nèi)成功開發(fā)出硬質(zhì)合金TiN-TiCN-TiN多元復合涂層工藝技術(shù)并達到實用水平，CNx涂層技術(shù)的研發(fā)也有重大突破，但與發(fā)展水平相比，我國的刀具PVD涂層技術(shù)仍落后十年左右。目前國外刀具PVD涂層技術(shù)已發(fā)展到第四代，而國內(nèi)尚處于第二代水平，且仍以單層TiN涂層為主。
4 我國刀具PVD 涂層技術(shù)發(fā)展的問題與對策
4.1 問題分析
與國外相比，我國刀具PVD涂層技術(shù)的研究和開發(fā)起步并不太晚，而且在發(fā)展初期大量引進了當時上的各類涂層設備，八十年代后期國產(chǎn)涂層設備也得到了迅速發(fā)展，但該項技術(shù)真正廣泛應用于高速鋼刀具卻是在九十年代中期。到目前為止，雖然國內(nèi)對硬質(zhì)合金刀具TiCN涂層的研究已取得突破，但國內(nèi)市場的涂層產(chǎn)品仍以TiN涂層為主。分析其原因，可歸納為以下幾點：
（1）前期集中引進對國內(nèi)PVD技術(shù)后續(xù)發(fā)展的影響
八十年代中期國外PVD技術(shù)及裝備的集中引進雖然使我國發(fā)展該項技術(shù)有了一個高起點，同時也解決了高速鋼刀具的涂層問題，但由于引進設備的廠家都是國內(nèi)的刀具生產(chǎn)骨干企業(yè)（其刀具產(chǎn)品的國內(nèi)*很高），這些*涂層設備的引進在相當長一段時間內(nèi)已可滿足這些企業(yè)的生產(chǎn)要求，因此對國產(chǎn)PVD技術(shù)和設備的需求不太強烈，這在一定程度上影響了國產(chǎn)PVD設備在刀具制造領(lǐng)域的應用與發(fā)展；另一方面，八十年代中期PVD技術(shù)還處于發(fā)展初期，隨著該項技術(shù)的不斷發(fā)展，進入九十年代后新技術(shù)層出不窮，這些企業(yè)早期引進的技術(shù)亟待更新，但昂貴的價格使企業(yè)很難再次引進新技術(shù)和新設備，國內(nèi)也因此錯失了發(fā)展提高PVD技術(shù)的*時期。
（2）對新工藝的研發(fā)重視不夠
盡管八十年代國內(nèi)引進了當時的PVD技術(shù)，但當時PVD技術(shù)尚處于發(fā)展初期，國內(nèi)對其后續(xù)發(fā)展空間及發(fā)展速度無法充分估計；此外，物理涂層技術(shù)是集電子物理、材料、真空控制技術(shù)于一體的新型技術(shù)，在研究、生產(chǎn)、應用等方面對人員配置有較高要求，而大部分引進PVD技術(shù)的企業(yè)偏重生產(chǎn)，對開發(fā)人員及資金配置不足，難以推動工藝技術(shù)的進一步自主開發(fā)，新工藝、新技術(shù)仍需再引進，而再引進的費用十分昂貴（如Balzers公司的設備從TiN涂層工藝升級為TiCN涂層工藝，僅硬件改造費即需30萬美元），因此影響了國內(nèi)涂層技術(shù)新工藝和裝備的研發(fā)。
（3）國產(chǎn)設備開發(fā)缺乏統(tǒng)一性、合理性及協(xié)作性
八十年代后期，國內(nèi)一些真空設備制造廠及科研單位對PVD刀具涂層市場過于樂觀，紛紛加大各類PVD涂層設備的開發(fā)力度，但由于缺乏對切削工藝及刀具涂層工藝的深入了解，與工具廠合作不夠，因此開發(fā)的涂層設備大多無法滿足刀具涂層工藝的要求，尤其是精密高速鋼刀具涂層技術(shù)尚達不到批量生產(chǎn)水平。由于此類設備大多只能用于麻花鉆的涂層，而麻花鉆涂層費用極低，相應涂層設備的利潤也很低，因此到九十年代以后，大部分真空設備制造廠已把發(fā)展方向轉(zhuǎn)向其它行業(yè)（如裝飾涂層等）。
（4）售后服務欠缺制約了國產(chǎn)涂層設備的推廣應用
迄今為止，國內(nèi)大部分涂層設備生產(chǎn)廠還不能提供完整的刀具涂層工藝技術(shù)（包括前處理工藝、涂層工藝、涂后處理工藝、檢測技術(shù)、涂層刀具應用技術(shù)等），這種技術(shù)不完整性給用戶的生產(chǎn)帶來許多技術(shù)問題；此外，由于設備生產(chǎn)廠不能提供長期技術(shù)服務，導致國產(chǎn)涂層設備難以保證長時期穩(wěn)定、正常使用，從而極大限制了PVD涂層設備的推廣應用
切削刀具表面涂層技術(shù)是近幾十年應市場需求發(fā)展起來的材料表面改性技術(shù)。采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命，使刀具獲得優(yōu)良的綜合機械性能，從而大幅度提高機械加工效率。因此，涂層技術(shù)與材料、切削加工工藝一起并稱為切削刀具制造領(lǐng)域的三大關(guān)鍵技術(shù)。為滿足現(xiàn)代機械加工對率、高精度、高可靠性的要求，世界各國制造業(yè)對涂層技術(shù)的發(fā)展及其在刀具制造中的應用日益重視。我國的刀具涂層技術(shù)經(jīng)過多年發(fā)展，目前正處于關(guān)鍵時期，即原有技術(shù)已不能滿足切削加工日益提高的要求，國內(nèi)各大工具廠的涂層設備也到了必須更新?lián)Q代的時期。因此，充分了解國內(nèi)外刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，瞄準涂層技術(shù)*水平，有計劃、按步驟地發(fā)展刀具涂層技術(shù)（尤其是PVD技術(shù)），對于提高我國切削刀具制造水平具有重要意義。
2．國外刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢
刀具涂層技術(shù)通?？煞譃榛瘜W氣相沉積（CVD）技術(shù)和物理氣相沉積（PVD）技術(shù)兩大類，分別評述如下。
2.1 國外CVD技術(shù)的發(fā)展
二十世紀六十年代以來，CVD技術(shù)被廣泛應用于硬質(zhì)合金可轉(zhuǎn)位刀具的表面處理。由于CVD工藝氣相沉積所需金屬源的制備相對容易，可實現(xiàn)TiN、TiC、TiCN、TiBN、TiB2、Al2O3等單層及多元多層復合涂層的沉積，涂層與基體結(jié)合強度較高，薄膜厚度可達7～9μm，因此到八十年代中后期，美國已有85%的硬質(zhì)合金工具采用了表面涂層處理，其中CVD涂層占到99%；到九十年代中期，CVD涂層硬質(zhì)合金刀片在涂層硬質(zhì)合金刀具中仍占80%以上。
盡管CVD涂層具有很好的耐磨性，但CVD工藝亦有其先天缺陷：一是工藝處理溫度高，易造成刀具材料抗彎強度下降；二是薄膜內(nèi)部呈拉應力狀態(tài)，易導致刀具使用時產(chǎn)生微裂紋；三是CVD工藝排放的廢氣、廢液會造成較大環(huán)境污染，與目前大力提倡的綠色制造觀念相抵觸，因此自九十年代中期以來，高溫CVD技術(shù)的發(fā)展和應用受到一定制約。
八十年代末，Krupp.Widia開發(fā)的低溫化學氣相沉積（PCVD）技術(shù)達到了實用水平，其工藝處理溫度已降至450～650℃，有效抑制了η相的產(chǎn)生，可用于螺紋刀具、銑刀、模具的TiN、TiCN、TiC等涂層，但迄今為止，PCVD工藝在刀具涂層領(lǐng)域的應用并不廣泛。九十年代中期，中溫化學氣相沉積（MT-CVD）新技術(shù)的出現(xiàn)使CVD技術(shù)發(fā)生了革命性變革。MT-CVD技術(shù)是以含C/N的有機物乙腈（CH3CN）作為主要反應氣體、與TiCL4、H2、N2在700～900℃下產(chǎn)生分解、化學反應生成TiCN的新工藝。采用MT-CVD技術(shù)可獲得致密纖維狀結(jié)晶形態(tài)的涂層，涂層厚度可達8～10μm。這種涂層結(jié)構(gòu)具有*的耐磨性、抗熱震性及韌性，并可通過高溫化學氣相沉積（HT-CVD）工藝在刀片表面沉積Al2O3、TiN等抗高溫氧化性能好、與被加工材料親和力小、自潤滑性能好的材料。MT-CVD涂層刀片適于在高速、高溫、大負荷、干式切削條件下使用，其壽命可比普通涂層刀片提高一倍左右。目前，CVD（包括MT-CVD）技術(shù)主要用于硬質(zhì)合金車削類刀具的表面涂層，涂層刀具適用于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。采用CVD技術(shù)還可實現(xiàn)α-Al2O3涂層，這是PVD技術(shù)目前難以實現(xiàn)的，因此在干式切削加工中，CVD涂層技術(shù)仍占有極為重要的地位。
2.2 國外PVD技術(shù)的發(fā)展
PVD技術(shù)出現(xiàn)于二十世紀七十年代末，由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下，因此可作為zui終處理工藝用于高速鋼類刀具的涂層。由于采用PVD工藝可大幅度提高高速鋼刀具的切削性能，所以該技術(shù)自八十年代以來得到了迅速推廣，至八十年代末，工業(yè)發(fā)達國家高速鋼復雜刀具的PVD涂層比例已超過60%。
PVD技術(shù)在高速鋼刀具領(lǐng)域的成功應用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視，人們在競相開發(fā)高性能、高可靠性涂層設備的同時，也對其應用領(lǐng)域的擴展尤其是在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中的應用進行了更加深入的研究。研究結(jié)果表明：與CVD工藝相比，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時對刀具材料的抗彎強度無影響（試驗結(jié)果見表1）；薄膜內(nèi)部應力狀態(tài)為壓應力，更適于對硬質(zhì)合金精密復雜刀具的涂層；PVD工藝對環(huán)境無不利影響，符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。隨著高速切削加工時代的到來，高速鋼刀具應用比例逐漸下降、硬質(zhì)合金刀具和陶瓷刀具應用比例上升已成必然趨勢，因此，工業(yè)發(fā)達國家自九十年代初就開始致力于硬質(zhì)合金刀具PVD涂層技術(shù)的研究，至九十年代中期取得了突破性進展，PVD涂層技術(shù)已普遍應用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。
表1 不同溫度下PVD涂層對硬質(zhì)合金材料抗彎強度的影響
硬質(zhì)合號-平均抗彎強度（MPa）-未涂層-涂層（300℃）-涂層（600℃）-涂層（700℃）
M20－2109－2266－2129－2059
M30－2285－2469－2370－1894
目前PVD技術(shù)不僅提高了薄膜與刀具基體材料的結(jié)合強度，涂層成分也由*代的TiN發(fā)展為TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx等多元復合涂層。ZX涂層（即TiN-AlN 涂層）等納米級涂層的出現(xiàn)使PVD涂層刀具的性能有了新突破。這種新涂層與基體結(jié)合強度高，涂層膜硬度接近CBN，抗氧化性能好，抗剝離性強，而且可顯著改善刀具表面粗糙度，有效控制精密刀具的刃口形狀及精度，其精密加工質(zhì)量與未涂層刀具相比毫不遜色。
經(jīng)過幾十年的研究和開發(fā)，各種刀具涂層工藝已廣泛應用于硬質(zhì)合金和高速鋼切削刀具。涂層工藝的主要發(fā)展階段及應用領(lǐng)域見表2。
表2 主要涂層工藝發(fā)展時段及應用領(lǐng)域
時間－涂層成分－涂層方法－主要應用領(lǐng)域
1968年－TiC、TiN－CVD－硬質(zhì)合金刀具、模具涂層
1973年－TiCN、TiC+Al2O3－CVD－硬質(zhì)合金刀具、模具涂層
1979年－TiN－PVD－高速鋼刀具涂層
1981年－TiC+Al2O3+TiN、Al-O-N－CVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1982年－TiCN－MT-CVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1984年－TiCN－PVD－硬質(zhì)合金、高速鋼銑刀、鉆頭類刀具涂層
1986年－Diamond、CBN－CVD、PVD－硬質(zhì)合金刀具涂層
1989年－TiAlN－PVD－硬質(zhì)合金銑刀類涂層（用于鋼、鑄鐵加工）
1990年－TiN、TiCN、TiC－PCVD－模具、螺紋刀具、銑刀等
1991年－TiAlN+CrC－PVD－車、銑削鈦合金
1993年－TiN+TiCN（CVD）+TiN（PVD）－CVD+PVD－硬質(zhì)合金銑削類刀具
1993年－CrN－PVD－鈦合金、銅合金加工
1994年－MoS2－PVD－高速鋼復雜刀具涂層
1995年－TiN-AlN－PVD－硬質(zhì)合金銑刀片涂層
1996年－厚膜纖維狀TiCN－MT-CVD－硬質(zhì)合金車削類刀具涂層（用于粗、半精加工）
1996年－CNx－CVD、PVD－高速鋼刀具涂層
2000年－TiAlCN－PVD－硬質(zhì)合金刀片涂層
當前世界涂層技術(shù)的發(fā)展具有以下趨勢：由于單一涂層材料難以滿足提高刀具綜合機械性能的要求，因此涂層成分將趨于多元化、復合化；為滿足不同的切削加工要求，涂層成分將更為復雜、更具針對性；在復合涂層中，各單一成分涂層的厚度將越來越薄，并逐步趨于納米化；涂層工藝溫度將越來越低，刀具涂層工藝將向更合理的方向發(fā)展，預計PVD、MT-CVD工藝將成為主流技術(shù)。
3 我國刀具涂層技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢
3.1 我國CVD技術(shù)的發(fā)展
我國從二十世紀七十年代初開始研究CVD涂層技術(shù)，由于該項技術(shù)性較強，國內(nèi)從事研究的單位并不多。八十年代中期，我國CVD刀具涂層技術(shù)的開發(fā)達到實用化水平，工藝技術(shù)水平與當時的水平相當，但在隨后的十多年里發(fā)展較為緩慢（與國外研究狀況類似）；九十年代末期，我國開始MT-CVD技術(shù)的研發(fā)工作，MT-CVD工藝及裝備的研究開發(fā)預計可在2001年內(nèi)基本完成，根據(jù)研究目標，工藝技術(shù)及設備將達到當前*水平；我國PCVD技術(shù)的研究始于九十年代初，PCVD工藝技術(shù)主要用于模具涂層，目前在切削刀具領(lǐng)域的應用還十分有限。總體而言，國內(nèi)CVD 技術(shù)的總體發(fā)展水平與水平差距不大，待MT-CVD技術(shù)開發(fā)成功，我國在刀具CVD涂層領(lǐng)域的整體水平將可與*水平基本保持同步。
3.2 我國PVD技術(shù)的發(fā)展
我國PVD涂層技術(shù)的研發(fā)工作始于八十年代初期，至八十年代中期研制成功中小型空心陰極離子鍍膜機，并開發(fā)了高速鋼刀具TiN涂層工藝技術(shù)。在此期間，由于對切削刀具涂層市場前景看好，國內(nèi)共有七家大型工具廠從國外引進了大型PVD涂層設備（均以高速鋼TiN涂層工藝為主）。技術(shù)及設備的引進調(diào)動了國內(nèi)PVD技術(shù)的開發(fā)熱潮，許多科研單位和各大真空設備廠紛紛展開了大型離子鍍膜機的研制工作，并于九十年代初開發(fā)出多種PVD涂層設備。但由于多數(shù)設備性能指標不高，無法保證刀具涂層質(zhì)量，同時預期的市場效益未能實現(xiàn)，因此大多數(shù)企業(yè)未對PVD刀具涂層技術(shù)作進一步深入研究，導致近十年國內(nèi)PVD刀具涂層技術(shù)的發(fā)展徘徊不前。盡管九十年代末國內(nèi)成功開發(fā)出硬質(zhì)合金TiN-TiCN-TiN多元復合涂層工藝技術(shù)并達到實用水平，CNx涂層技術(shù)的研發(fā)也有重大突破，但與發(fā)展水平相比，我國的刀具PVD涂層技術(shù)仍落后十年左右。目前國外刀具PVD涂層技術(shù)已發(fā)展到第四代，而國內(nèi)尚處于第二代水平，且仍以單層TiN涂層為主。
4 我國刀具PVD 涂層技術(shù)發(fā)展的問題與對策
4.1 問題分析
與國外相比，我國刀具PVD涂層技術(shù)的研究和開發(fā)起步并不太晚，而且在發(fā)展初期大量引進了當時上的各類涂層設備，八十年代后期國產(chǎn)涂層設備也得到了迅速發(fā)展，但該項技術(shù)真正廣泛應用于高速鋼刀具卻是在九十年代中期。到目前為止，雖然國內(nèi)對硬質(zhì)合金刀具TiCN涂層的研究已取得突破，但國內(nèi)市場的涂層產(chǎn)品仍以TiN涂層為主。分析其原因，可歸納為以下幾點：
（1）前期集中引進對國內(nèi)PVD技術(shù)后續(xù)發(fā)展的影響
八十年代中期國外PVD技術(shù)及裝備的集中引進雖然使我國發(fā)展該項技術(shù)有了一個高起點，同時也解決了高速鋼刀具的涂層問題，但由于引進設備的廠家都是國內(nèi)的刀具生產(chǎn)骨干企業(yè)（其刀具產(chǎn)品的國內(nèi)*很高），這些*涂層設備的引進在相當長一段時間內(nèi)已可滿足這些企業(yè)的生產(chǎn)要求，因此對國產(chǎn)PVD技術(shù)和設備的需求不太強烈，這在一定程度上影響了國產(chǎn)PVD設備在刀具制造領(lǐng)域的應用與發(fā)展；另一方面，八十年代中期PVD技術(shù)還處于發(fā)展初期，隨著該項技術(shù)的不斷發(fā)展，進入九十年代后新技術(shù)層出不窮，這些企業(yè)早期引進的技術(shù)亟待更新，但昂貴的價格使企業(yè)很難再次引進新技術(shù)和新設備，國內(nèi)也因此錯失了發(fā)展提高PVD技術(shù)的*時期。
（2）對新工藝的研發(fā)重視不夠
盡管八十年代國內(nèi)引進了當時的PVD技術(shù)，但當時PVD技術(shù)尚處于發(fā)展初期，國內(nèi)對其后續(xù)發(fā)展空間及發(fā)展速度無法充分估計；此外，物理涂層技術(shù)是集電子物理、材料、真空控制技術(shù)于一體的新型技術(shù)，在研究、生產(chǎn)、應用等方面對人員配置有較高要求，而大部分引進PVD技術(shù)的企業(yè)偏重生產(chǎn)，對開發(fā)人員及資金配置不足，難以推動工藝技術(shù)的進一步自主開發(fā)，新工藝、新技術(shù)仍需再引進，而再引進的費用十分昂貴（如Balzers公司的設備從TiN涂層工藝升級為TiCN涂層工藝，僅硬件改造費即需30萬美元），因此影響了國內(nèi)涂層技術(shù)新工藝和裝備的研發(fā)。
（3）國產(chǎn)設備開發(fā)缺乏統(tǒng)一性、合理性及協(xié)作性
八十年代后期，國內(nèi)一些真空設備制造廠及科研單位對PVD刀具涂層市場過于樂觀，紛紛加大各類PVD涂層設備的開發(fā)力度，但由于缺乏對切削工藝及刀具涂層工藝的深入了解，與工具廠合作不夠，因此開發(fā)的涂層設備大多無法滿足刀具涂層工藝的要求，尤其是精密高速鋼刀具涂層技術(shù)尚達不到批量生產(chǎn)水平。由于此類設備大多只能用于麻花鉆的涂層，而麻花鉆涂層費用極低，相應涂層設備的利潤也很低，因此到九十年代以后，大部分真空設備制造廠已把發(fā)展方向轉(zhuǎn)向其它行業(yè)（如裝飾涂層等）。
（4）售后服務欠缺制約了國產(chǎn)涂層設備的推廣應用
迄今為止，國內(nèi)大部分涂層設備生產(chǎn)廠還不能提供完整的刀具涂層工藝技術(shù)（包括前處理工藝、涂層工藝、涂后處理工藝、檢測技術(shù)、涂層刀具應用技術(shù)等），這種技術(shù)不完整性給用戶的生產(chǎn)帶來許多技術(shù)問題；此外，由于設備生產(chǎn)廠不能提供長期技術(shù)服務，導致國產(chǎn)涂層設備難以保證長時期穩(wěn)定、正常使用，從而極大限制了PVD涂層設備的推廣應用