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武漢華工激光工程有限責(zé)任公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

采用納秒激光器，針對(duì)GPP晶圓等進(jìn)行精密劃切。切割頭自研重復(fù)定位精度 ±2μm、±5arc sec 設(shè)備重量 1000 Kg

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

01

加工質(zhì)量高

切割線寬窄（以紫外劃片為例：含HAZ≤30±5μm），崩邊小≤10μm
02

加工效率高

UPH≥15 （以40Mil，5英寸GPP晶圓為例，含自動(dòng)上下料）
03

加工穩(wěn)定性好

納秒激光器功率穩(wěn)定性，光束質(zhì)量好（M2 <1.5)

技術(shù)參數(shù)

內(nèi)容		主要技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào)		LUD3200	LUD3210
激光器參數(shù)	中心波長(zhǎng)	~355nm	~1064nm
激光器參數(shù)	加工頭	自制切割頭	自制切割頭
加工性能	有效工作行程	200x300mm(選配)、DD馬達(dá)	200x300mm(選配)、DD馬達(dá)
	重復(fù)定位精度	±2μm、±5arc sec	±2μm、±5arc sec
	視覺定位	正面定位、正面切割	正面定位、背面切割
	劃線線寬	≤30±5μm	≤40±5μm
其他	供電規(guī)格	220V/50Hz/3.5kW	220V/50Hz/3.5kW
	整機(jī)尺寸	1150mm800mm1700mm	1150mm800mm1700mm
	設(shè)備重量	1000 Kg	1000 Kg

樣品展示

正面定位，背面切割： 5英寸GPP晶圓（背金），40Mil

正面定位，正面切割： 4英寸平片晶圓，晶粒大小1.8*1.8mm

關(guān)鍵詞：PP

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