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武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地武漢市
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更新時間：2025-01-31 11:55:07瀏覽次數(shù)：48次
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面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游原材料生產(chǎn)企業(yè)、中游晶圓生產(chǎn)企業(yè)，采用獨立開發(fā)的光學(xué)明暗場檢測系統(tǒng)，對半導(dǎo)體原片、外延片、無圖形晶圓的外觀缺陷進行檢測。 檢測精度 7 μm 檢測鏡頭 高清工業(yè)鏡頭 整機尺寸（mm） 1800*1300*2250
適用于4—8英寸原片、襯底、外延片及無圖形晶圓
檢測顆粒、凹坑、凸起、劃傷、污點、裂紋等缺陷
系統(tǒng)分辨率：1-10μm
無圖形晶圓：缺陷數(shù)量在200個以內(nèi)的情況下，180秒/片
| 項目 | 主要技術(shù)參數(shù) | |
| 常規(guī)參數(shù) | Wafer尺寸 | 標配4" , 6"(可擴展4"-8") |
| 料盒數(shù)量 | 雙層， 14 pcs | |
| 上下料方式 | 機械手， Mapping掃描 | |
| 運動平臺 | Y行程 350mm，重復(fù)精度 10μm Z行程 8mm，重復(fù)精度 5μm | |
| 產(chǎn)能 | 4" , 140WPH 6" , 120WPH | |
| 檢測性能 | 檢測精度 | 7 μm |
| 相機 | 高分辨率工業(yè)相機 | |
| 鏡頭 | 高清工業(yè)鏡頭 | |
| 光源 | 光源 | |
| 使用環(huán)境 | 供電規(guī)格 | AC220V， 50Hz |
| 氣源要求 | 0 .5-0 .7Mpa壓縮空氣， 無明顯水汽和油脂 | |
| 設(shè)備重量 | 溫度15-40℃， 濕度要求30%-70%， 無凝霜 | |
| 整機尺寸 | 1800mm*1300mm*2250mm | |
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