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ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修

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品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地成都市

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更新時間：2025-04-21 10:29:36瀏覽次數(shù)：91次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：140條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：羅林 （銷售）

產(chǎn)品簡介

ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修，AC3系統(tǒng)的核心是ACP空氣管理系統(tǒng)技術(shù)。在兩端式的冷卻操作中，提取冷卻的空氣。使用過的干燥的靜靜冷空氣還可以作為節(jié)約成本的凈化空氣，重新吹向卡盤，以防止晶圓和其周圍區(qū)域結(jié)冰。

詳細(xì)介紹

ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。



AC3系統(tǒng)的核心是ACP空氣管理系統(tǒng)技術(shù)。在兩端式的冷卻操作中，提取冷卻的空氣。使用過的干燥的靜靜冷空氣還可以作為節(jié)約成本的凈化空氣，重新吹向卡盤，以防止晶圓和其周圍區(qū)域結(jié)冰。



ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修

應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和測試領(lǐng)域，包括晶圓測試、芯片封裝等環(huán)節(jié)。在晶圓測試中，該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對晶圓溫度的精確控制，從而提高測試的準(zhǔn)確性和可靠性。在芯片封裝中，ERS Electronic AC3能夠應(yīng)對晶圓和PCB板的翹曲問題，確保封裝的穩(wěn)定性和質(zhì)量。


zonglen chiller

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動小


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